离高效的自动曝光流程:双框交替,两面分别自动对 位,同时曝光;超强的LEDUV系统,光强可达400MW,利于深层固 化。
专业设计的高效气浮传送)定位装置和基板与菲林的快速锲合机 构使产能倍增,更适合大板面工件的曝光生产
基板悬浮在经过洁净处理的气垫上高效传送,避免静电和滚轮、 吸盘对表面涂层损伤